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PRODUCT
Plasma System

플라즈마 자동 세정 장치는 스마트한 구조로 진공 펌프 내부에 장착됩니다.
[Features]
가스 분해 효율 향상
경쟁사 대비 1/3 설치 비용
Max. 100,000 Liter/min 급 Pump 대응
고장 없는 간결한 구조
Maintenance 용이
진공펌프의 수명 연장 및 수리 비용 감소

Cleaning Process
ex. SiO2(s) + Fluorine(g) + Nitrogen(g) → SiF4 (g) + NOx(g)
Dry Pump System

플라즈마 장치가 내장된 Dry Pump 는 진공 펌프의 수명을 혁신적으로 개선합니다.
[Features]
Simple and Compact Size
고밀도 Plasma Clean System 내장
펌프 고장에 의한 설비 정지 Loss 개선
고장 없는 간결한 구조
2차 설비 Attack 방지(Particle, Wafer Loss..)
부대 설비 통합 제어 및 모니터링 시스템
Vacumm Pump Sales

PLAN’s Solution
진공 펌프의 신뢰성 있는 선정 기준으로 국·내외 진공 펌프 회사들의 제품을 Sales 합니다. 진공 펌프의 사용에 대한 기존 문제를 플랜만의 Know-how를 통해 해결해 드립니다

기존문제

부적합한 용량 선정
비싼 가격, 생산성 저하, 공정 불량
잘못된 배관, 진공 펌프 선정
수명 감소, 진공 효율 하락
비정상적인 수리
고장이 자주 발생



진공 관련 다양한 정보를 바탕으로 귀사의 투자비 및 유지 관리비를 획기적으로 감소시켜드립니다.
그밖에 궁금한 사항이 있으시면 지금 바로 연락 주십시오.

해결방안

관련 Know-how 보유
적합한 펌프, 부대장치 선정
Pump 업체 Network 형성
합리적인 가격의 펌프 공급
Repair, Refurbished Pump 공급 가능
비용 부담 완화, 요구 조건에 맞춘 진공 시스템 구성
Gas Supply System

반도체용 가스 공급 장치를 제작, 공급합니다.
미세 공급, 순차 제어가 필요한 각종 TEST 장비에 적용 가능
SEMI 규정에 해당하는 각종 Interlock및 Control 제어 포함
Test System


반도체 설비 급에 준하는 Test System이 제작 가능합니다.
Vacuum Chamber제작
Gas 공급 장치 및 배관 구성
진공 펌프 및 부대 장치 선정
폐가스 장치 구성

그 외 자동화 시스템을 구성할 수 있는 인프라를 보유하고 있으니 Test 설비가 필요할경우 언제든지 연락 주십시오.
Sensor & etc
MFC & LFC & MFM
국내·내외 유량 제어 장치 회사와 협업으로 고객 환경에 맞는 유량 제어 장치 및 솔루션을 공급합니다.

[ Gas Flow ]

유량 범위 : 0.01~11,000㎥n/h
정확도: ±1 %
Gas용 질량 유량계 및 컨트롤러

MFC(M)

방폭형 MFC

MFC(Low Pressure)

[ LIQUID Flow ]

유량 범위 : 0.75 mg/h~20 kg/h
정확도: ±1 %
액체용 질량 유량계 및 컨트롤러

LFC

[ 코리올리 Flow ]

유량 범위 : 5 g/h~600 kg/h
정확도: ±0.2 %
Coriolis 방식의 질량 유량 계측기 및 컨트롤러

CORI-FLOW

[ 증기화 시스템 ]

2 ~ 1,200 g/h Liquid
4 ~ 100 ln/min Gas
200 ℃ Max. Temperature
증기 생성 및 혼합 시스템

CEM System

[ 제어 및 전원 장치 ]

디지털 전원공급
측정값 확인
단채널 및 다중채널 연결
IP40 또는 IP65 (방수)
푸쉬버튼으로 조작

Power Supply & Read Out

Valve & Fitting


Valve 류


Fitting 류
Gas 공급 장치 제작과 연계하여 반도체(급)용 각종 Valve 및 Fitting 공급
Interlock Sensor
고객 환경에 맞는 인터럭 센서 공급 및 시스템 구성을 도와드립니다.

Flow Sensor

터빈 유량계
전자 유량계
초음파 유량계
용적식 유량계
가스 유량계
질량 유량계
임펠러 유량계
면적식 유량계
디스플레이 제품
유량 컨트롤 시스템
OEM 제품

Flow Switch

마그네틱 유량 스위치
마이크로 유량 스위치
피스톤 유량 스위치
가스 유량 스위치
전자 유량 모니터
OEM 제품

Level Meter

레벨 미터
레벨 스위치(센서)
디스플레이

Pessure Sensor

압력센서
    (Pirani 게이지
    Baratron 게이지)
압력 스위치
디지털 압력계

Load Cell

Load Cells
Force sensors
Hardware
Electronics
Display

Temperature

노점 센서
온도센서
온도 스위치
Calibrators (교정기)
KombiTemp(온도계+센서)

Leak Detector

Water Leak Detector
Gas Leak Detector

필요 인터럭 센서 협의를 통한 최선의 업체 선정 및 공급
각종 센서의 활용으로 고객 Needs에 적합한 인터럭 시스템 제작
Heating Jacket


Silicon Rubber Heater


Aluminum Jacket Heater


PI Heater


각종 Cable (방폭형)

Gas Line 및 진공 배관 가열 히터
특정 공간 및 부위 Heating 히터 (Special Order)
각종 Heating Cable
O-Ring


내산성/내부식성용 코팅 O-Ring을 공급합니다.
[Features]
O-ring의 수명 연장을 통한 교체 주기 지연
Sealing 능력 극대화
우수한 가공으로 O-ring 잔여물 제거