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PRODUCT
Plasma System

플라즈마 자동 세정 장치는 스마트한 구조로 진공 펌프 내부에 장착됩니다.
[Features]
가스 분해 효율 향상
경쟁사 대비 1/3 설치 비용
Max. 30,000 Liter/min 급 Pump 대응
고장 없는 간결한 구조
Maintenance 용이
진공펌프의 수명 연장 및 수리 비용 감소

Cleaning Process
SiO2(s) + Fluorine(g) + Nitrogen(g) → SiF4 (g) + NOx(g)
Dry Pump System

플라즈마 장치가 내장된 Dry Pump 는 진공 펌프의 수명을 혁신적으로 개선합니다.
[Features]
Compact Size
고밀도 Plasma Clean System 내장
펌프 고장에 의한 설비 정지 Loss 개선
고장 없는 간결한 구조
2차 설비 Attack 방지(Particle, Wafer Loss..)
부대 설비 통합 제어
모니터링 시스템
Vacumm Pump Sales

PLAN’s Solution
진공 펌프의 신뢰성 있는 선정 기준으로 국·내외 진공 펌프 회사들의 제품을 Sales 합니다. 진공 펌프의 사용에 대한 기존 문제를 플랜만의 Know-how를 통해 해결해 드립니다

기존문제

부적합한 용량 선정
비싼 가격 지불, 생산성 저하 또는 공정 불량 발생
잘못된 배관, 진공 펌프 선정
수명 감소 및 진공 효율이 낮아짐
비정상적인 수리
고장이 자주 발생하게끔 사용

플랜은 이런 문제점을 개선하여 귀사의 투자비 및
유지 관리비를 획기적으로 줄일 것입니다.

해결방안

Process Application 관련 Know-how 보유
정확한 펌프 및 추가 장치 선정
Pump 업체 네트워크 형성
합리적인 가격으로 펌프 공급 가능
Pump Repair 및 관리, Refurbished Pumps 공급 가능
Test System이 필요한데 비용이 부담스럽다면,
Repair 제품으로 맞춤 가능한 기술력이 있습니다.
저비용으로 진공시스템을 갖춰보십시오.
수리 및 중고 제품 관련 문의 주세요

그 밖에 플랜이 제공할 수 있는 진공 관련 정보는 다양합니다
궁금한 사항이 있으시면 지금 바로 연락주십시오.
Gas Supply System & 부속 장치


반도체용 가스 공급 장치를 제작 (Special Order제품) 및 공급합니다.
미세 공급 제어, 순차 제어가 필요한 Test 설비 및 각종 장비에 적용 가능
SEMI 규정에 해당하는 각종 Interlock 및 Control 제어 포함
Test System


반도체 설비 급에 준하는 Test System이 제작 가능합니다.
Vacuum Chamber제작
Gas 공급 장치
진공 펌프 및 Accessory 선정
배관 및 부대 장치 구성
폐가스 장치 구성 등

그 외 자동화 시스템을 구성할 수 있는 인프라를 보유하고 있으니 Test 설비가 필요할경우 언제든지 연락 주십시오.
Sensor & etc
MFC & LFC & MFM
국내·내외 유량 제어 장치 회사와 협업으로 고객 환경에 맞는 유량 제어 장치 및 솔루션을 공급합니다.

[ Gas Flow ]

유량 범위 : 0.01~2000slm
정확도: ±1 %
Gas용 질량 유량계 및 컨트롤러

MFC(M)

방폭형 MFC

MFC(Low Pressure)

[ LIQUID Flow ]

유량 범위 : 0.75 mg/h~20 kg/h
정확도: ±1 %
액체용 질량 유량계 및 컨트롤러

LFC

[ 코리올리 Flow ]

유량 범위 : 5 g/h~600 kg/h
정확도: ±0.2 %
Coriolis 방식의 질량 유량 계측기 및 컨트롤러

CORI-FLOW

[ 증기화 시스템 ]

2 ~ 1200 g/h Liquid
4 ~ 100 ln/min Gas
200℃ Max Temperature
증기 생성 및 혼합 시스템

CEM System

[ 제어 및 전원 장치 ]

디지털 전원공급
측정값 확인
단채널 및 다중채널 연결
IP40 또는 IP65 (방수)
푸쉬버튼으로 조작

Power Supply & Lead Out

Valve & Fitting


Manual Valve


Fitting

Gas 공급 장치 제작과 연계하여 반도체(급)용 각종 Valve 및 Fitting 공급
Interlock Sensor
고객 환경에 맞는 인터럭 센서 공급 및 시스템 구성을 도와드립니다.

FLOW SENSOR

터빈유량계
전자유량계
초음파유량계
용적식유량계
가스유량계
질량유량계
임펠러유량계
면적식유량계
디스플레이제품
유량 Control System
OEM제품

FLOW SWITCH

마그네틱 유량스위치
마이크로 유량스위치
피스톤 유량스위치
가스 유량스위치
전자유량모니터
OEM제품

LEVEL METER

레벨미터
레벨스위치(센서)
디스플레이

PRESSURE SENSOR

압력센서
    - Pirani
    - Baratron
압력스위치
디지털 압력계

LOAD CELL

Load Cells
Force sensors
hardware
Electronics
Display

TEMPERATURE

노점센서
온도센서
온도스위치
Calibrators(교정기)
KombiTemp(온도계+센서)

Leak Detector

Water Leak Detector
Gas Leak Detector

필요 인터럭 센서 협의를 통한 최선의 업체 선정 및 공급
각종 센서의 활용으로 고객 Needs에 적합한 인터럭 시스템 제작
Heating Jacket


SILICON RUBBER HEATER


ALUMINUM JACKET HEATER


PI HEATER


각 종 CABLE (방폭형)

Gas Line 및 진공 배관 가열 히터
특정 공간 및 부위 Heating 히터 (Special Order)
각종 Heating Cable
O-Ring


내산성/내부식성용 코팅 O-Ring을 공급합니다.
[Features]
O-ring의 수명 연장을 통한 교체 주기 지연으로 생산 원가 및 효율성 증대
완벽한 Sealing을 통한 Chamber leak 최소화
O-Ring 잔여물에 의한 제품 불량 개선