Gas Supply System
반도체용 가스 공급 장치를 제작, 공급합니다.
■ 미세 공급, 순차 제어가 필요한 각종 TEST 장비에 적용 가능
■ SEMI 규정에 해당하는 각종 Interlock및 Control 제어 포함
Test System
반도체 설비 급에 준하는 Test System이 제작 가능합니다.
■ Vacuum Chamber제작
■ Gas 공급 장치 및 배관 구성
■ 진공 펌프 및 부대 장치 선정
■ 폐가스 장치 구성
그 외 자동화 시스템을 구성할 수 있는 인프라를 보유하고 있으니 Test 설비가 필요할경우
언제든지 연락 주십시오.
Sensor & etc
국내·내외 유량 제어 장치 회사와 협업으로 고객 환경에 맞는 유량 제어 장치 및 솔루션을 공급합니다.
[ Gas Flow ]
■ 유량 범위 : 0.01~11,000㎥n/h
■ 정확도: ±1 %
■ Gas용 질량 유량계 및 컨트롤러
■ MFC(M)
■ 방폭형 MFC
■ MFC(Low Pressure)
[ LIQUID Flow ]
■ 유량 범위 : 0.75 mg/h~20 kg/h
■ 정확도: ±1 %
■ 액체용 질량 유량계 및 컨트롤러
■ LFC
[ 코리올리 Flow ]
■ 유량 범위 : 5 g/h~600 kg/h
■ 정확도: ±0.2 %
■ Coriolis 방식의 질량 유량 계측기 및 컨트롤러
■ CORI-FLOW
[ 증기화 시스템 ]
■ 2 ~ 1,200 g/h Liquid
■ 4 ~ 100 ln/min Gas
■ 200 ℃ Max. Temperature
■ 증기 생성 및 혼합 시스템
■ CEM System
[ 제어 및 전원 장치 ]
■ 디지털 전원공급
■ 측정값 확인
■ 단채널 및 다중채널 연결
■ IP40 또는 IP65 (방수)
■ 푸쉬버튼으로 조작
■ Power Supply & Read Out
Valve 류
Fitting 류
Gas 공급 장치 제작과 연계하여 반도체(급)용 각종 Valve 및 Fitting 공급
고객 환경에 맞는 인터럭 센서 공급 및 시스템 구성을 도와드립니다.
Flow Sensor
■ 터빈 유량계
■ 전자 유량계
■ 초음파 유량계
■ 용적식 유량계
■ 가스 유량계
■ 질량 유량계
■ 임펠러 유량계
■ 면적식 유량계
■ 디스플레이 제품
■ 유량 컨트롤 시스템
■ OEM 제품
Flow Switch
■ 마그네틱 유량 스위치
■ 마이크로 유량 스위치
■ 피스톤 유량 스위치
■ 가스 유량 스위치
■ 전자 유량 모니터
■ OEM 제품
Level Meter
■ 레벨 미터
■ 레벨 스위치(센서)
■ 디스플레이
Pessure Sensor
■ 압력센서
(Pirani 게이지
Baratron 게이지)
■ 압력 스위치
■ 디지털 압력계
Load Cell
■ Load Cells
■ Force sensors
■ Hardware
■ Electronics
■ Display
Temperature
■ 노점 센서
■ 온도센서
■ 온도 스위치
■ Calibrators (교정기)
■ KombiTemp(온도계+센서)
Leak Detector
■ Water Leak Detector
■ Gas Leak Detector
필요 인터럭 센서 협의를 통한 최선의 업체 선정 및 공급
각종 센서의 활용으로 고객 Needs에 적합한 인터럭 시스템 제작
Heating Jacket
Silicon Rubber Heater
Aluminum Jacket Heater
PI Heater
각종 Cable (방폭형)
■ Gas Line 및 진공 배관 가열 히터
■ 특정 공간 및 부위 Heating 히터 (Special Order)
■ 각종 Heating Cable
O-Ring
내산성/내부식성용 코팅 O-Ring을 공급합니다.
[Features]
■ O-ring의 수명 연장을 통한 교체 주기 지연
■ Sealing 능력 극대화
■ 우수한 가공으로 O-ring 잔여물 제거
PLAN’s Solution
