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Vacuum Simulation
최적화된 공정 Simulation
Simulation 수행으로 최적화된 설치 조건 및 진공 펌프의 모델 선정.
정확한 볼륨 계산
Chamber 및 Conduct에 따른 신뢰성 있는 결과 도출
(Pumping Speed, Tact time, Throughput )